微光學(xué)的定義
微光學(xué)誕生于20世紀90年代,是指具有微米和納米級微結(jié)構(gòu)的光學(xué)元器件及系統(tǒng)的設(shè)計、制備和應(yīng)用的一門學(xué)科。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)微細加工技術(shù)的發(fā)展,通過小型化和在小范圍內(nèi)組合各種功能,產(chǎn)生出許多具有新特性的新應(yīng)用。這就促使著光學(xué)必須小型化,以處理光學(xué)、激光等領(lǐng)域的新應(yīng)用。

除了成像、聚焦等基本光學(xué)功能,微光學(xué)還可實現(xiàn)折射、反射和衍射功能。微光學(xué)可以在晶圓襯底上實現(xiàn)微光學(xué)器件制造,不僅可以同時生產(chǎn)數(shù)個單透鏡,還可以生產(chǎn)具有一維、二維光學(xué)整形功能的透鏡陣列。
晶圓級微光學(xué)制造技術(shù)開辟了小型光學(xué)和光學(xué)系統(tǒng)的全新領(lǐng)域,因其結(jié)合了光學(xué)和機械特性,從工業(yè)市場到消費市場均已廣泛應(yīng)用。
微光學(xué)的應(yīng)用

微光學(xué)在工業(yè)上的突破性應(yīng)用改變了我們的生活、交流和工作方式:
用于材料加工處理的半導(dǎo)體泵浦固體/光纖激光器
在材料加工領(lǐng)域,如金屬零件的加工生產(chǎn)以及要求超高穩(wěn)定和輕質(zhì)量車身的汽車行業(yè),大功率的光纖激光器和固體激光器的應(yīng)用越來越廣泛。
利用具有最高光電轉(zhuǎn)化效率的半導(dǎo)體激光器,結(jié)合FAC(快軸準(zhǔn)直)、SAC(慢軸準(zhǔn)直)及BTS(光斑轉(zhuǎn)換)等微光學(xué)技術(shù),是生產(chǎn)大功率光纖激光器和半導(dǎo)體泵浦固體激光器的重要組成部分。
用于半導(dǎo)體芯片制造的浸入式泛半導(dǎo)體制程技術(shù)
隨著浸入式泛半導(dǎo)體制程技術(shù)的應(yīng)用,半導(dǎo)體器件晶體管密度不斷增加,所以今天我們可以看到以一個毫米級的硅片承載著1TB的信息,或者整臺電腦被集成在一個芯片上。微光學(xué)為泛半導(dǎo)體制程提供光場勻化器,將用于泛半導(dǎo)體制程的準(zhǔn)分子激光勻化在硅片上,使得泛半導(dǎo)體制程實現(xiàn)高精度和高分辨率。
以激光剝離技術(shù)實現(xiàn)柔性顯示的規(guī)模應(yīng)用
紫外和紅外波段線激光改善了高分辨率顯示器材料的性能和功能,使用紫外線激光的激光剝離技術(shù)實現(xiàn)了柔性顯示膜層和剝離基板的無接觸光學(xué)剝離,這對于常規(guī)機械分離來說是不可能的。
在OLED的制程中,基于微光學(xué)整形的技術(shù)將深紫外激光整形成一條20-30微米寬,750毫米甚至更長的高能量密度的線光斑,通過掃描實現(xiàn)柔性顯示膜層從玻璃基板無接觸剝離。
激光雷達(LiDAR)與人工智能應(yīng)用
基于微光學(xué)技術(shù)和整形激光器的光學(xué)感知器件小巧可靠,不但能夠確認您的身份,還能精確測量您的車輛在交通中的位置,把您安全輕松的帶到目的地。
根據(jù)LiDAR方案的不同,微光學(xué)可以通過快軸準(zhǔn)直和慢軸準(zhǔn)直分別在快慢軸進行準(zhǔn)直和壓縮,從而提高LiDAR在兩個方向的角分辨率;還可以將點光源整形成很寬的線光源,通過掃描就能形成很大的視場角;針對面光源提供diffuser,形成水平方向90度-120度,垂直方向5度- 40度的視場角,實現(xiàn)非常均勻的光斑分布。
在萬物互聯(lián)的大數(shù)據(jù)時代,所有人機界面都將使用這些光學(xué)傳感器,幫助您提升工作質(zhì)量和效率,從而有更多的時間去享受生活。
光通訊領(lǐng)域數(shù)據(jù)傳輸/存儲/分發(fā)
DFB激光器和EDFA光放大器是互聯(lián)網(wǎng)的關(guān)鍵組成部分,通過單根光纖產(chǎn)生和放大數(shù)字光信號,每秒傳輸速度可達1TB。
微光學(xué)技術(shù)用于通信器件中光的傳輸如分束器、耦合器及AWG(Arrayed Waveguide Grating)波導(dǎo)型光開關(guān)等。
微光學(xué)的優(yōu)勢
LIMO的微光器件基于晶圓襯底生產(chǎn)技術(shù),柱面透鏡能夠在X和Y方向光場獨立整形,可自由選擇光學(xué)材料和柱鏡曲面。高折射率玻璃材料和非球柱面可用于生成數(shù)值孔徑接近1的透鏡,這一特性是實現(xiàn)單透鏡對半導(dǎo)體激光器整形,并形成一個視場角>100°的廣角照明場的關(guān)鍵。
LIMO獨特的生產(chǎn)技術(shù),使微透鏡擁有良好的拋光表面,可用于各類高、低功率激光應(yīng)用。與傳統(tǒng)的透鏡設(shè)計相比,LIMO微光學(xué)設(shè)計采用非球面的曲面設(shè)計,可提供僅用一個或兩個光學(xué)元件的微光學(xué)解決方案,使得復(fù)雜光學(xué)或者消費類應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)更為簡化。

除了光學(xué)特性外,LIMO的微光學(xué)器件生產(chǎn)時可實現(xiàn)安裝面對準(zhǔn)和集成,以更快、更可靠地抓取和安裝微光學(xué)器件。與微電子制造技術(shù)類似,LIMO制造的微光學(xué)系統(tǒng)不僅使光電元件和器件緊湊,還具有光場勻化和光束整形等功能。LIMO的光場勻化器可以形成比衍射光學(xué)更具均勻性和透過率的矩形,或其他形狀光場分布,如用于浸入式泛半導(dǎo)體制程的光場勻化器就是典型應(yīng)用。
由炬光科技旗下LIMO設(shè)計和生產(chǎn)的微光學(xué)器件為緊湊、高價值的微光學(xué)組件設(shè)計開辟了新的維度,這不僅將帶來工業(yè)和高科技應(yīng)用的巨大變革,而且還讓激光技術(shù)“照亮”了人們的日常生活,提高了人們的生活質(zhì)量。
關(guān)于炬光科技:
西安炬光科技股份有限公司成立于2007年9月,是一家專業(yè)從事激光光學(xué)器件、高功率半導(dǎo)體激光器件、光學(xué)應(yīng)用模塊、激光模塊,光學(xué)系統(tǒng)、激光系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國家級高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有自主研發(fā)品牌、核心技術(shù)團隊、激光光學(xué)行業(yè)和高功率半導(dǎo)體激光器核心技術(shù),主要為生命科學(xué)、先進制造、顯示與成像、科研與工程、OLED和汽車制造等領(lǐng)域提供標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,并為客戶提供定制化、個性化的產(chǎn)品和全套應(yīng)用解決方案。