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2022年8月4日,炬光科技全新發(fā)布Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)。該系統(tǒng)輸出光斑長度和寬度在2mm到200mm范圍內(nèi)分段連續(xù)可調(diào),光斑均勻度>97%,具備閉環(huán)溫控功能,適用于泛半導體制程解決方案。
炬光科技 Flux H 系列可變光斑激光系統(tǒng)
隨著激光技術的飛速發(fā)展,激光應用領域在廣度和深度上不斷拓展,各行業(yè)對于加工效率以及加工精度也不斷提出更高要求,進而對高均勻度以及不同尺寸光斑的需求不斷增多。激光光斑從傳統(tǒng)的“點”已經(jīng)逐漸發(fā)展為加工效率更高的“線”和“面”。目前高均勻度(>97%),且長寬靈活可變的“線”、“面”光斑已被廣泛應用在面板顯示、集成電路、鋰電池制造、玻璃和光伏等泛半導體制程解決方案。
線光斑、面光斑加工方式示意
01?基于4000W功率976nm波長的半導體光源
02?實現(xiàn)輸出光斑長寬方向2~200mm分段連續(xù)可調(diào)
產(chǎn)品性能參數(shù)
不同工作距離下的光斑尺寸變化范圍
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